机械电子工程研究所成立于2013年8月30日，简称机电所。研究所主要学科方向包机器人及自动化技术与装备、IC制造装备及超精密测控、数控技术与智能装备。研究所目前在职人员20人，其中教授/研究员5人，副教授/副研究员8人，助理研究员7人。所长朱煜教授入选第一批万人计划科技创新领军人才（全国72人），IC装备团队入选科技部重点领域创新团队。

  教学成果与人才培养

  机械电子工程研究所致力于培养机械电子工程方向具有坚实基础理论和解决工程实际问题能力的优秀人才。 机电所近年来获得了丰硕教学成果，包括：北京市教育教学成果（高等教育）一等奖1项，清华大学教学成果二等奖1项，清华大学实验技术成果奖一等奖1项，二等奖1项。指导学生参加"中国机器人大赛暨RoboCup公开赛"，共获得6项冠军、3项亚军和6项季军。举办海峡两岸机器人邀请赛及学术交流会1次。北京市高等教育精品教材1项，清华大学优秀教材二等奖1项。此外，潘尚峰和尹文生老师先后获得清华大学优秀班主任一等奖。

  科研成果

  近年来机电所共完成国家和企业科研课题70余项，获国家和省部级奖3项，军队科技进步二等奖1项，申请国内外发明专利150余项，出版学术专著4部，论文近400篇，年均科研经费超过0.5亿元。